Темы книги:
Техническая литература >> Связь
|
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие
|
Автор: В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов
Издательство: Бином
ISBN: 978-5-9963-0032-7
Дата выпуска: 2015
Где приобрести?
|
|
|
|
|